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什么是IGBT?IGBT的內部結構和相關工藝

來源:IGBT| 發布日期:2023-12-12 16:56

IGBT是英文Isolated Gate BipolarTransistor的簡稱,中文稱作絕緣柵雙極型晶體管,是由BJT (雙極型三極管) 和MOS (絕緣柵型場效應管) 組成的復合全控型電壓驅動式功率半導體器件

由于IGBT是能源變換與傳輸的核心器件,俗稱電力電子裝置的“CPU”,在國家戰略性新興產業,如軌道交通、智能電網、航空航天、電動汽車與新能源裝備等領域應用極廣,需求量極大。

IGBT的內部結構

在討論IGBT模塊的組裝前,先了解一下內部由什么元件組成。從以下IGBT模塊的分解圖中,可以看到內部的元件種類甚多,包括:不同類型的芯片(如IGBT及二級管芯片)、端子、預制組件、銅基板、絕緣層、基板、散熱器等等。在組裝完這些元件后,再用塑料外殼封裝,制成最終的IGBT功率器件。

IGBT功率模塊的基板,通常采用直接敷銅基板 (DBC基板),因為它們具有很好的導熱性。在生產過程中,需要組裝多種類型的芯片、預制組件等等。

工藝包括:

IGBT芯片連接、二極管芯片連接、SCR (硅整流器) /晶閘管芯片連接

預制組件連接

電容器和電阻器的貼裝

直接敷銅基板上組裝了多種類型的芯片

IGBT直接敷銅基板組裝的挑戰?

易破損的芯片及基底板處理

高混合元件

高產出要求

FuzionSC半導體貼片機的優勢:

同一設備可同時滿足高混合及高產出的要求

可以對接晶圓送料器、盤式及卷帶盤式送料器

高達10微米的精度

可編程控制貼裝壓力,從10g至5000g

能應對的元件尺寸范圍極廣,從200微米x 200微米至150毫米x 150毫米均可

真空支撐基板承載器

視頻從兩個角度演示FuzionSC在直接敷銅基板上組裝預制組件、芯片及端子。